货物采购
武汉大学高分辨率离子束溅射仪采购招标公告
发布日期:2013-06-25  浏览次数:

 

    武汉大学拟采购一批设备,欢迎具有相应资质和能力的供应商前来购买标书。

一、设备名称:高分辨率离子束溅射仪。(详见附件)。

二、购买标书时间:2010年6月22日-2010年6月30日17:00。

三、开标时间:2010年7月1日上午。

四、购买标书地点:武汉大学采购与招投标管理中心405室。

 

联 系 人:陈老师

联系电话:(027)68754585  

                    武汉大学采购与招投标管理中心

                        2010年6月22日

 

附件三 高分辨率离子束溅射仪

数量:1

       1. 溅射纳米薄膜均匀,可控性与可重复性高,溅射的可重复性误差小于5%。

       2. 同时完成金属以及金属氧化物等介质材料的溅射。

       3. 溅射仪溅射精度高,每次溅射薄膜的厚度必须精确到5 nm以下。

       4. 薄膜溅射的运行一次最大厚度至少达到百纳米量级。

       5. 溅射仪需要具备溅射膜厚监控系统,保证溅射薄膜厚度的精确度。

       6. 溅射仪体积无需太大,最好为台式溅射仪。

 

 

 

 

技术负责人:周张凯      联系电话:13986162253